ในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์หรือจอแสดงผลผลึกเหลวการรวมอุปกรณ์ได้เพิ่มขึ้นในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ในการผลิตอุปกรณ์ที่เรียกว่าวงจรรวมขนาดใหญ่มากจําเป็นต้องมีรูปแบบที่ดี 1 ไมครอนหรือน้อยกว่า ในกระบวนการผลิตดังกล่าวฝุ่นละเอียดหรือสิ่งสกปรกก๊าซจํานวนน้อยมากจะถูกสะสมหรือดูดซับในรูปแบบการเดินสายไฟส่งผลให้วงจรล้มเหลว ดังนั้นจึงเป็นสิ่งจําเป็นที่ทั้งก๊าซปฏิกิริยาและก๊าซผู้ให้บริการที่มีความบริสุทธิ์สูงนั่นคือเพียงไม่กี่อนุภาคและสิ่งสกปรกก๊าซสามารถอยู่ในก๊าซเหล่านี้ ด้วยเหตุนี้จึงเป็นสิ่งจําเป็นสําหรับท่อเส้นเลือดฝอยสแตนเลสหรือสมาชิกที่จะใช้ก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและพื้นผิวภายในของมันถูกใช้เป็นมลพิษเพื่อปล่อยมลพิษโดยมีอนุภาคและก๊าซในปริมาณน้อยที่สุด นอกจากก๊าซเฉื่อยเช่นไนโตรเจนและอาร์กอนแล้วก๊าซจํานวนมากที่เรียกว่าก๊าซพิเศษยังใช้เป็นก๊าซสําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ตัวอย่างของก๊าซพิเศษ ได้แก่ ก๊าซกัดกร่อนเช่นคลอรีนไฮโดรเจนคลอไรด์และไฮโดรเจนโบรไมด์และก๊าซที่ไม่เสถียรทางเคมีเช่นหมัก อดีตต้องการความต้านทานการกัดกร่อนของก๊าซในขณะที่หลังต้องการประสิทธิภาพที่ไม่ใช่ตัวเร่งปฏิกิริยา
จนถึงขณะนี้เพื่อลดการสะสมหรือการดูดซับฝุ่นหรือน้ําพื้นผิวด้านในของชิ้นส่วนที่ใช้ในการผลิตก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ได้รับการปรับให้เรียบขึ้นจนกว่าความหยาบของพื้นผิว Rmax จะ 1 ไมครอนหรือน้อยกว่า การวาดภาพเย็นการขัดเชิงกลการขัดสารเคมีการขัดหรือการรวมกันของมันสามารถใช้เป็นวิธีการปรับพื้นผิวด้านในหรือชิ้นส่วนของท่อให้เรียบ อย่างไรก็ตามวัสดุที่เรียบสูงที่มีค่า 1 ไมครอนหรือน้อยกว่าส่วนใหญ่ได้มาจากการขัดด้วยไฟฟ้า พื้นผิวภายในของท่อหรือคล้ายกันจะเรียบแล้วทําความสะอาดด้วยน้ําที่มีความบริสุทธิ์สูงและแห้งด้วยก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อให้ได้ผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย
การเชื่อมโดยทั่วไปจะใช้เมื่อเชื่อม นี่เป็นเพราะการเชื่อมสามารถรับประกันความแข็งแรงสูงและความหนาแน่นของอากาศที่ดีของท่อ ในการวางท่อก๊าซเฉื่อยที่มีความบริสุทธิ์สูงมักจะอาร์กอนใช้เป็นก๊าซป้องกันและพื้นผิวภายในสัมผัสกับก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงผ่านท่อเพื่อหลีกเลี่ยงการให้ความร้อนส่วนหนึ่งของมลพิษและการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงที่สุด นอกจากนี้ในการวางท่อท่อจะถูกทําความสะอาดด้วยอาร์กอนที่มีความบริสุทธิ์สูงหรือไนโตรเจนเพื่อกําจัดอนุภาคเหล่านี้และยังคงอยู่ในท่อ เมื่อไปป์ไลน์ยาวและซับซ้อนเช่นไปป์ไลน์จะใช้เวลาหลายวันถึงหลายสัปดาห์ เมื่อเร็ว ๆ นี้การลดต้นทุนในการก่อสร้างโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการดําเนินงานในช่วงต้นของโรงงานได้รับการเรียกร้องอย่างมาก เพื่อให้เป็นไปตามข้อกําหนดเหล่านี้ตอนนี้จําเป็นต้องลดเวลาในการทําความสะอาด
นอกเหนือจากคุณสมบัติข้างต้นแล้วสมาชิกท่อและก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงจําเป็นต้องมีความสามารถในการเชื่อมพื้นที่ร่วมที่จําเป็นสําหรับซีลเชิงกลและความต้านทานการสึกหรอ เมื่อชิ้นส่วนเช่นข้อต่อกลึงจําเป็นต้องใช้ความอ่อนแอของ Mach ในทางกลับกันเป็นที่ทราบกันดีว่าก๊าซพิเศษที่มีความต้านทานการกัดกร่อนและคุณสมบัติที่ไม่ใช่ตัวเร่งปฏิกิริยาซึ่งจําเป็นสําหรับการผลิตท่อเซมิคอนดักเตอร์หรือก๊าซที่คล้ายกันสามารถปรับปรุงได้โดยการให้ความร้อนพื้นผิวของสแตนเลสในลักษณะบรรยากาศในบรรยากาศดังกล่าวความดันบางส่วนของออกซิเจนจะถูกควบคุม เป็นที่น่าสังเกตว่าสารวัตถุประสงค์ของท่อมีการรายงานเป็นสแตนเลส SUS 316L ในวรรณกรรมนี้
ความต้านทานการกัดกร่อนที่จําเป็นข้างต้นและประสิทธิภาพที่ไม่ใช่ตัวเร่งปฏิกิริยาไม่เพียง แต่สําหรับท่อส่งก๊าซเท่านั้น ความต้องการเดียวกันนี้ยังทําจากสแตนเลสที่ใช้ในอุปกรณ์ต่าง ๆ สําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งหนึ่งในนั้นมีการประมวลผลเวเฟอร์ที่ดี โดยเฉพาะอย่างยิ่งสแตนเลสออสเทนนิติกประเภท SUS 316L ส่วนใหญ่จะใช้เป็นวัสดุสําหรับท่อและสมาชิกอุปกรณ์อื่น ๆ สิ่งพิมพ์สิทธิบัตรโคไคของญี่ปุ่นฉบับที่ 161145/1988 เปิดเผยสแตนเลสสตีลออสเทนนิติกที่สะอาดไม่ผ่านมาตรฐานของท่อเหล็กที่ใช้ในห้องสะอาด การรวมที่ไม่ใช่โลหะจํากัดการลดปริมาณแมงกานีสซิลิคอนอลูมิเนียมและออกซิเจนซึ่งจะช่วยลดการสร้างอนุภาคจากพื้นผิวด้านในของท่อ
นอกจากนี้ญี่ปุ่นยังได้ตีพิมพ์สิทธิบัตรฉบับที่ 198463 1989 / ซึ่งเปิดเผยสมาชิกสแตนเลสสําหรับอุปกรณ์สําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ สมาชิกเหล่านี้เป็นก๊าซออกซิไดซ์หลังจากการขัดด้วยไฟฟ้าเคมีของสแตนเลส ภายใต้เงื่อนไขบางอย่างชั้นออกไซด์ที่มีความหนา 100 ถึง 500 angstroms จะเกิดขึ้นและอุ่นในลักษณะที่จํานวนอะตอม Ni ในส่วนนอกคือสัดส่วน